基辛格履歷再加一行 將率這家新創打造全球最強大EUV光源

英特爾前CEO基辛格表示，將與xLight團隊合作，運用粒子加速器，打造全球最強大的自由電子雷射（FEL）技術。路透

英特爾（Intel）前執行長基辛格已加入新創公司xLight，擔任執行董事長，預計將與團隊聯手打造全球最強大的自由電子雷射（FEL）技術。

科技網站Tom's Hardware報導，xLight正在研發透過粒子加速器生成自由電子雷射（FEL），作爲極紫外光（EUV）微影系統的光源。該公司宣稱能在2028年前製造這種光源，並保有與現有設備的相容性。

基辛格在LinkedIn發文表示，「我將與執行長克勒茲（Nicholas Kelez）和他的團隊合作，運用粒子加速器，打造全球最強大的FEL」。

EUV微影技術是透過波長13.5奈米的EUV光，在晶圓上產生極小的電路圖案，目前僅艾司摩爾（ASML）能製造EUV微影系統。但製造極短波長光線的方式不只一種，其一是把粒子加速器當作一種「雷射產生電漿」（LPP）光源。

根據基辛格的貼文，xLight已製造出一個比當下最先進系統強四倍的LLP光源。也就是說，xLight和基辛格似在宣告，目前已開發出大於1,000W的LLP光源，且2028年前就能進行商業用途。

值得注意的是，xLight並不打算取代ASML的EUV設備，而是「生產一種能與ASML掃描器連接的LPP光源，並在2028年前用於晶圓上」。

這表示，xLight的LLP光源將與ASML現有設備相容，但不清楚是否能用在新一代的高數值孔徑極紫外光（High NA EUV）設備。